我们没有辜负您的期望，这DUV干式光刻机，我们总算是做出来了！”

“只要现在的基本性能达到了设计指标，哪怕后续还存在一些问题，我们也可以后续慢慢改进，逐步提升销量，良率，然后用于实际生产！”

徐申学道：“好，好的很！”

“辛苦大家了，今天晚上我做东，大家都要来，我们不醉不归！”

“然后，项目获得了成功，而我徐某人呢，除了有几个臭钱外也没其他的了，所有参与该项目研发的研发人员，这个月的绩效一律三倍发放，技术骨干另有奖金和期权奉上！”

“除了整机项目外，各子系统的研发团队也一应如此！”

“了解我的人都知道，我徐申学从不说假大空的话，这笔奖金我相信会让诸多满意的！”

徐申学给钱大方，那可是出了名的……尤其是在一些重点研发领域里给奖金那是给的超级大方。

智云微电子那边搞出来三十二纳米工艺，徐申学一次性就对研发团队发出去了超过三千万的奖金！

光刻机领域里也不例外，徐申学老早就说过，等你们搞出来DUV干式光刻机的那一天，就是你们实现财富自由的时候。

多了不敢说，但是整机项目以及各子系统里的核心技术人员，这一次的项目奖金足以让他们在深城买房安家，全款的那种！

只要东西搞出来，哪怕几个亿奖金对于徐申学而言那都不算什么。

和这个DUV干式光刻机的巨大意义比起来，这几个亿奖金算个屁！

尽管DUV干式光刻机只能用于六十五纳米工艺，但是这东西却是DUV浸润式光刻机的前置技术。

大量的子系统都是通用的，或者是改进后就能用的。

这解决的是0-1的问题，后续DUV干式光刻机到DUV浸润式光刻机，那是1-9的问题。

尽管1-9也非常困难，但是有了这个1打基础，那么后续搞起来才有目标，有头绪啊！

有了这个DUV干式光刻机后，徐申学也就能够真正畅想数年后把DUV浸入式光刻机弄出来了。

只要把DUV浸润式光刻机给弄出来，再配搭其他核心设备以及耗材，未来很多年都不用担心被制裁封锁了。

因为DUV浸润式光刻机，使用多重曝光技术，是可以做出来等效7纳米的芯片的。

甚至极端一些，都能做到等效5纳米的芯片，只不过成本会很高而已……

全面可自主的等效7纳米芯片工艺技术